Fourier Transform Infrared Spectroscopy (FTIR) analysatoren bruges i halvlederfremstillingsindustrien FTIR er et spektralanalyseinstrument, der bruger infrarød spektroskopi til at analysere urenhedskoncentrationen gennem Fourier-transformation. Spektrometret består hovedsageligt af en lyskilde (siliciumkulstav, højtrykskviksølvlampe), Michelson interferometer, detektor og interferometer
Det infrarøde lys, der udsendes af den infrarøde lyskilde S, kollimeres til en parallel infrarød stråle og kommer ind i interferenssystemet. Efter justering med interferometeret opnås en stråle af interferenslys. Interferenslyset passerer gennem prøve Sa for at opnå et interferenssignal indeholdende spektral information, som når detektor D og derefter konverteres til et elektrisk signal af D. Interferenssignalet her er en tidsfunktion, som er interferensmønsteret tegnet af interferenssignalet , og dens vandrette akse er bevægelsestiden eller afstanden for det bevægelige spejl. Dette interferensmønster sendes til computeren gennem en A/D-konverter, og computeren udfører hurtige Fourier-transformationsberegninger for at opnå et infrarødt spektrum med bølgetal som den vandrette akse. Derefter sendes det til en plotter gennem en D/A-konverter for at tegne et meget velkendt standard infrarødt absorptionsspektrum.
